中國電子元件行業(yè)協(xié)會(huì)
China Electronic Components Association
中科微感近期推出了新一代MEMS基金屬氧化物半導(dǎo)體原理的TVOC傳感器，采用納米級(jí)別膜層沉積工藝，在納米敏感材料和薄膜上進(jìn)行特殊優(yōu)化工藝，并采用最新一代LGA封裝，使得傳感器相較上一代TVOC產(chǎn)品具有更高的一致性、穩(wěn)定性和靈敏性的特點(diǎn)，改善了上一代傳感器在高污染環(huán)境中，其阻值容易漂移的問題，提升了傳感器本身的抗硅中毒性能。
TVOC是什么？
TVOC，即總揮發(fā)性有機(jī)化合物（Total Volatile Organic Compounds），是指室溫下飽和蒸氣壓超過了133.32 Pa的有機(jī)物，其沸點(diǎn)在50℃至250℃，在常溫下可以蒸發(fā)的形式存在于空氣中，它的毒性、刺激性、致癌性和特殊的氣味性，會(huì)影響皮膚和黏膜，對(duì)人體產(chǎn)生急性損害。世界衛(wèi)生組織、美國國家科學(xué)院/國家研究理事會(huì)（NAS/NRC）等機(jī)構(gòu)一直強(qiáng)調(diào)TVOC是一類重要的空氣污染物。
中科微感推出高性能TVOC傳感器
中科微感近期推出了新一代MEMS基金屬氧化物半導(dǎo)體原理的TVOC傳感器，采用納米級(jí)別膜層沉積工藝，在納米敏感材料和薄膜上進(jìn)行特殊優(yōu)化工藝，并采用最新一代LGA封裝，使得傳感器相較上一代TVOC產(chǎn)品具有更高的一致性、穩(wěn)定性和靈敏性的特點(diǎn)，改善了上一代傳感器在高污染環(huán)境中，其阻值容易漂移的問題，提升了傳感器本身的抗硅中毒性能。
中科微感提供的CM-A3012S傳感器模組可檢測(cè)0.1-500 ppm范圍內(nèi)的TVOC濃度，滿足不同場(chǎng)景的需求。本傳感器可嵌入各種與空氣中TVOC濃度相關(guān)的儀器儀表或環(huán)境改善設(shè)備，為其提供及時(shí)準(zhǔn)確的濃度數(shù)據(jù)，且檢測(cè)過程操作方便、測(cè)量準(zhǔn)確、工作可靠，無需重新標(biāo)定。
產(chǎn)品性能參數(shù)
響應(yīng)性
下圖所示為我司敏感材料對(duì)該氣體的響應(yīng)性曲線，均在我公司的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)條件下測(cè)出。
縱坐標(biāo)表示傳感器電阻比 Rg/Ra，Rg與Ra的定義如下：
Rg = 各種濃度氣體中的傳感器電阻值
Ra = 潔凈空氣中的傳感器電阻值
如上圖所示，本系列傳感器對(duì)10 ppm異丁烯的響應(yīng)性均達(dá)到2倍以上。
溫濕度測(cè)試
下圖所示為我司敏感材料溫濕度特性曲線，均在我公司的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)條件下測(cè)出。
縱坐標(biāo)表示傳感器電阻比 Rg/Ra，Rg與Ra的定義如下：
Rg = 各種溫濕度潔凈空氣中的傳感器電阻值
Ra = 20 ℃ 50% RH潔凈空氣中的傳感器電阻值
耐硅中毒
下圖所示為我司敏感材料對(duì)20 ppm六甲基二硅醚40小時(shí)的耐受性，4顆樣品均在我公司的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)條件下測(cè)出?？v坐標(biāo)表示耐硅前后靈敏度漂移Δ response，Δ response定義如下：
Δ response =（耐硅后靈敏度-耐硅前靈敏度）/耐硅前靈敏度*100%
耐硅靈敏度偏差優(yōu)異低于20%的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，表現(xiàn)優(yōu)異。
技術(shù)參數(shù)
封裝形式
根據(jù)不同客戶需求，中科微感為客戶提供三種封裝形式：
產(chǎn)品尺寸：
LGA封裝：長(zhǎng)2.75 * 寬1.85 * 高1.03（單位：毫米）
DFN封裝：長(zhǎng)5 * 寬5 * 高1.04（單位：毫米）
TO-5封裝：直徑9.2 * 高18.4（單位：毫米）
TVOC傳感器應(yīng)用場(chǎng)景
智能家居
TVOC已成為室內(nèi)空氣質(zhì)量（IAQ）評(píng)估中的重要指標(biāo)。它可以對(duì)皮膚和黏膜造成傷害，并可能導(dǎo)致急性損傷和免疫系統(tǒng)失調(diào)。高性能TVOC傳感器能憑借其小體積被集成在各類智能家居中，根據(jù)不同需求，能夠有不同量程的TVOC傳感器供選擇，實(shí)現(xiàn)對(duì)整體家庭空氣質(zhì)量環(huán)境的監(jiān)管。
環(huán)?；?/p>
在制藥、農(nóng)藥、涂料等環(huán)?；ば袠I(yè)，對(duì)TVOC的排放需要進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控。由于VOCs具有高揮發(fā)性，涉及的行業(yè)廣泛，排放源眾多，呈現(xiàn)出無組織排放的明顯特征。大量大規(guī)模且廣泛分布的企業(yè)尚未采取有效的管控措施，導(dǎo)致企業(yè)自行監(jiān)測(cè)的質(zhì)量普遍較低。同時(shí)，點(diǎn)位設(shè)置存在不合理、采樣方式不規(guī)范、監(jiān)測(cè)時(shí)段代表性不強(qiáng)等問題，缺乏現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)等有效手段。
大氣質(zhì)量檢測(cè)
中科微感的半導(dǎo)體傳感器解決方案為物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)提供了一種創(chuàng)新的個(gè)性化實(shí)現(xiàn)。我們的最新一代金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器能夠準(zhǔn)確測(cè)量氣味和污染物的相對(duì)濃度，包括揮發(fā)性有機(jī)化合物（TVOC）。
中科微感氣體模組測(cè)試數(shù)據(jù)
質(zhì)譜儀測(cè)試數(shù)據(jù)
上圖為中科微感TVOC檢測(cè)模組與質(zhì)譜儀在大氣環(huán)境的對(duì)比測(cè)試數(shù)據(jù)趨勢(shì)。
車內(nèi)空氣質(zhì)量檢測(cè)
車內(nèi)的有害氣體主要來自兩方面：一是車內(nèi)飾品，如皮革、毯子、橡膠（腳墊）等，它們?cè)谥圃爝^程中大量使用化學(xué)用品，釋放出TVOC和甲醛等有害物質(zhì)。二是車輛本身，例如隔音棉，其通常與PP填充料、PU發(fā)泡材料等一同使用，廣泛分布在車廂底部、車身門板和前圍件中。在高溫條件下，這些材料可能釋放出大量的TVOC，導(dǎo)致車內(nèi)濃度升高，產(chǎn)生異味。因此，關(guān)注和控制汽車內(nèi)有害氣體是保障乘車環(huán)境健康的重要一環(huán)。中科微感TVOC傳感器能通過精準(zhǔn)測(cè)量TVOC濃度，為車內(nèi)環(huán)境安全保駕護(hù)航。
