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中國(guó)首條12英寸先進(jìn)智能傳感器晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目通過竣工驗(yàn)收
來源:MEMS  瀏覽次數(shù):1701  發(fā)布時(shí)間:2025-03-20

近日,中建四局承建的中國(guó)首條12英寸先進(jìn)智能傳感器晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目順利通過竣工驗(yàn)收。這條產(chǎn)線由廣州增芯科技有限公司(簡(jiǎn)稱:芯科技)投資建設(shè),按照“一次規(guī)劃、分步實(shí)施”原則,計(jì)劃用5年時(shí)間投資370億元,在廣州市增城區(qū)建設(shè)兩座智能化晶圓廠,總產(chǎn)能達(dá)到12萬片/月。

注:第一座晶圓廠(FAB1)分兩期,第一期產(chǎn)能2萬片/月,總投資70億元;第二期產(chǎn)能4萬片/月,總投資100億元;第二座晶圓廠(FAB2)為第三期,產(chǎn)能6萬片/月,總投資200億元。第一座晶圓廠預(yù)計(jì)2026年滿產(chǎn),第二座晶圓廠預(yù)計(jì)2027年滿產(chǎn)。

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芯科技由廣州灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司發(fā)起,于2021年4月在廣州正式成立,注冊(cè)資本為64億元人民幣,主營(yíng)業(yè)務(wù)是集成電路制造及研發(fā)設(shè)計(jì)服務(wù),建設(shè)以MEMS傳感器及配套專用ASIC芯片為主要產(chǎn)品的12英寸晶圓制造產(chǎn)線。

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該產(chǎn)線項(xiàng)目位于廣東省廣州市增城區(qū),總建筑面積約20萬平方米,建設(shè)內(nèi)容包括生產(chǎn)廠房、綜合動(dòng)力站、硅烷站、甲類倉(cāng)庫(kù)、危廢庫(kù)、大宗氣體站、生產(chǎn)調(diào)度樓等。作為中國(guó)首條12英寸智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線項(xiàng)目,建成后將具備年產(chǎn)24萬片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力,投用后生產(chǎn)的產(chǎn)品為力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片,將逐步形成產(chǎn)業(yè)聚集效應(yīng),為國(guó)內(nèi)智能傳感器及相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供高質(zhì)量發(fā)展支撐,助力“廣東強(qiáng)芯”工程建設(shè)。

廣州增城區(qū)邊規(guī)劃邊建設(shè)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園,目前已引進(jìn)產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目21個(gè)、總投資681億元,預(yù)計(jì)年產(chǎn)值/營(yíng)收超400億元。接下來將聚焦智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展,加快引進(jìn)全產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目,預(yù)計(jì)到2030年累計(jì)集聚產(chǎn)業(yè)生態(tài)重點(diǎn)企業(yè)100家,產(chǎn)業(yè)規(guī)模超600億元;到2035年,智能傳感器生態(tài)企業(yè)達(dá)到500家以上,形成千億級(jí)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群。