中國電子元件行業(yè)協(xié)會
China Electronic Components Association
近期，韓國領(lǐng)先的專業(yè)晶圓代工廠DB HiTek正在加強其在汽車、工業(yè)、機器人和醫(yī)療領(lǐng)域應用廣泛的全局快門和單光子雪崩二極管（SPAD）工藝技術(shù)，以拓展其專業(yè)圖像傳感器業(yè)務。
全局快門圖像傳感器可捕捉快速移動物體的圖像而不會失真。機器視覺、汽車、無人機、機器人和醫(yī)療設備等多個領(lǐng)域?qū)θ蚩扉T的需求正在迅速增長，預計2022年至2029年的年均市場增長率將達到16%。
DB HiTek的7 Tr電荷區(qū)全局快門采用光屏蔽和光導技術(shù)，在5.6 um像素下實現(xiàn)了PLS≥35,000，并支持各種尺寸，最小可達2.8 um像素（PLS≥10,000）。
寄生光敏度（PLS）是一個表示光敏感性的概念，PLS達到10000或更高時表明快門效率水平高得足以實現(xiàn)99.99%的光探測率（噪聲發(fā)生率低于萬分之一）。
DB HiTek的6 Tr電荷區(qū)全域快門可確保在2.8 μm像素、60C的條件下，PLS ≥10,000，存儲暗電流≤20e/s。這項工藝預計將于今年年底完成，并提供給客戶。
SPAD圖像傳感器可檢測到單光子級別的微弱光信號，可進行遠距離測量，是未來實現(xiàn)自動駕駛汽車、AR/VR設備、機器人和智能手機等先進技術(shù)的關(guān)鍵部件。
DB HiTek的第二代SPAD工藝在BSI結(jié)構(gòu)中采用了背面散射技術(shù)（BST）和背面深溝槽隔離技術(shù)（BDTI），在波長為940 nm時，光子探測概率為15.8%，達到了先進的技術(shù)水平。此外，它還實現(xiàn)了相當于0.69 cps/μm2的暗電流速率（DCR）性能，相當于典型CMOS圖像傳感器的暗電流，從而提高了質(zhì)量。
在升級版全局快門和第二代SPAD工藝上午基礎上，DB HiTek計劃積極支持無晶圓廠客戶拓展專業(yè)圖像傳感器業(yè)務。
DB HiTek的一位主管表示："目前，我們公司正與美國、歐洲、中國、日本等地區(qū)的全球領(lǐng)先公司合作開發(fā)產(chǎn)品。"他補充說："我們計劃通過提供定制工藝、用于像素開發(fā)模擬的TDK以及可以節(jié)省顧客費用的多層掩膜（MLM）等服務，來加強對客戶的支持。"
與此同時，DB HiTek最近通過與歐洲一家領(lǐng)先的醫(yī)療傳感器專業(yè)
