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近期，國(guó)內(nèi)氣體傳感器廠商漢威科技收購(gòu)嘉興市納杰微電子技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：納杰微）51%股份，納杰微主要從事MEMS芯片的設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)業(yè)務(wù)，納杰微持有浙江芯動(dòng)科技有限公司（簡(jiǎn)稱：芯動(dòng)科技）45.45%股份，芯動(dòng)科技擁有6英寸MEMS晶圓代工廠，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全過程，主要生產(chǎn)壓力傳感器、加速度計(jì)、陀螺儀，MEMS微鏡和生物醫(yī)學(xué)等MEMS產(chǎn)品。此舉，意味著漢威科技向智能傳感器上游——MEMS代工廠進(jìn)發(fā)。

納杰微通過自主創(chuàng)新以MEMS器件為主要核心，為客戶定制傾角測(cè)量、振動(dòng)檢測(cè)、平臺(tái)穩(wěn)定和慣性測(cè)量單元標(biāo)定（IMU）等應(yīng)用技術(shù)為基礎(chǔ)，不斷開拓進(jìn)取。在AGV機(jī)器人（分檢，叉車）、巡檢機(jī)器人、高鐵、石油地質(zhì)測(cè)斜等應(yīng)用領(lǐng)域開發(fā)了大量高端產(chǎn)品和客戶定制方案。

芯動(dòng)科技擁有1000平米超凈室，其中光刻區(qū)、鍵合區(qū)共150平米，凈化等級(jí)為十級(jí)，刻蝕區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、薄膜區(qū)共850平米，凈化等級(jí)為百級(jí)，是目前國(guó)內(nèi)少數(shù)百級(jí)、十級(jí)潔凈室，在高端MEMS傳感器制造廠房中屬先進(jìn)水平，擁有完整的MEMS工藝設(shè)計(jì)、加工平臺(tái)，可為國(guó)內(nèi)外同行提供微納器件研發(fā)、工藝代工、工藝測(cè)試等技術(shù)服務(wù)。

漢威科技表示，MEMS傳感器應(yīng)用空間愈發(fā)廣闊，收購(gòu)納杰微是根據(jù)公司發(fā)展戰(zhàn)略，圍繞產(chǎn)業(yè)鏈上下游，掌握上游關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)進(jìn)行的投資并購(gòu)。公司投資進(jìn)軍上游MEMS晶圓制造，可以與MEMS封測(cè)線形成上下游配套，掌握完整產(chǎn)業(yè)鏈。